工业气体作为工业的“血液”，，在化工行业阐扬着不成代替的作用。。。电子特气作为其细分领域，，更是被誉为工业气体领域的“皇冠上的明珠”。。。近年来，，我国工业气体产业驶入了发展“快车道”，，在资源、技术、设备、产品等各个方面获得了显著进取，，自给率不休提升。。。在获得成就的同时，，该产业也出现了一些发展瓶颈。。。正如近日中国工程院院士、浙江大学株洲钻研院院长任其龙指出的，，工业气体制作在能耗和品质等方面的局限性日益凸起，，开发清洁高效的气体合成与分离新技术火烧眉毛。。。

　　乙炔是我国重要的化工原料，，年需要量达900万吨，，不仅是“有机化工之母”，，还可利用于芯片制作等前沿领域。。。但“传统乙炔出产选取电石工艺，，不仅亏损大量优质石灰石和兰炭资源，，出产1吨乙炔还会产生16.7吨二氧化碳，，资源亏损大且产生废渣。。。！！

　　为此，，任其龙钻研团队于今年4月研发出利用等离子体制乙炔技术。。。该技术以风电、光伏等绿电为引领，，以等离子体极度规反映介质为主题，，将整个乙炔出产流程绿色再造，，实现煤、天然气一步转化制乙炔气体，，且副产品都可二次利用。。。该技术成功解决了传统电石工艺高资源亏损、高碳排放等问题，，为乙炔、半导体等产业链的迭代升级提供了革命性的技术路线，，也为构建零排放绿色乙炔产业链奠定了基础。。。

　　据悉，，该技术已通过兆瓦级中试和十兆瓦级工业示范装置的运行验证，，单套装置可年产5000吨乙炔。。。任其龙算了一笔绿色生态账，，将来若是将电石工艺全数代替为等离子体制乙炔技术，，全国每年至少可减排1.4亿吨二氧化碳，，相当于我国二氧化碳年排放量的1%。。。

　　含氟特种气体在集成电路晶圆制作各环节表演关键角色，，但目前国内企业因循国外既有的技术路线，，无法形成后发竞争优势，，研发自主可控且绿色高效的含氟特气制作新技术火烧眉毛。。。

　　基于分子辨识分离道理，，任其龙钻研团队开发了含氟特气净化专用吸附剂，，构筑了有序的亚纳米超微孔道结构，，可能专一性地捕获含氟特气中的微量杂质，，产品纯度可达6N，，处置能力较现有吸附剂提升2倍，，能耗比传统精馏技术降落80%。。。

　　面对含氟拔除物处置问题，，任其龙团队选取等离子体技术裂解工业副产三氟甲烷，，成功地将含氟拔除物转化为高转化、高收率、高附加值的以四氟甲烷、六氟乙烷为重要产品的产品。。。

　　“该反映能耗降低90%，，气相产品收率可达90%，，产品转化率达90%～99.5%，，并且无需使用氟气，，绿色、安全、高效。。。！！比纹淞。。。

　　高纯气体在现代工业中需要量巨大，，无论是电子工业中的高纯氮气、航天中的高纯惰性气体，，还是医疗领域的高纯氧气、新能源的高纯氢气，，“高纯”字眼的出现都意味着对分离技术提出了更高的要求。。。

　　“随着芯片集成密度的增长，，先进制程对气体纯度和杂质的要求更高，，工艺的复杂和难度也随之提升。。。！！比纹淞赋。。。

　　对于状态类似、尺寸相当、性质相近的气体，，吸附是有效的分离伎俩。。。以超高纯含氟电子特气纯化为例，，任其龙团队设计制备了拥有临界孔径和静电势互补特点的辨识资料，，强化对痕量杂质辨识能力，，实现极性相近含氟气体的筛分分离，，解决了含氟电子特气痕量杂质超深度脱除难题。。。

　　此外，，任其龙团队还开发了变温吸附分离工艺及设备，，产品纯度从4N提升至6N，，每立方米吸附剂可获得8吨以上高纯产品，，单程回收率高达95%，，处置能力远高于传统吸附剂，，目前在巨化集团已利用，，与原精馏工艺相比，，出产能力提升4倍，，能耗降低80%以上。。。

　　在职其龙看来，，电子特气行业远景辽阔，，但国内电子气体行业还需在技术层面加以突破。。。在资料方面，，气体终端净化器的主题资料，，如净化用的催化剂、吸附剂等仍有改进空间；；在设备方面，，与高纯气体接触的各类器材必须满足干净的尺度，，不然开释出来的微量杂质将传染电子气体；；在检测技术上，，我国需在超痕微量杂质、高精度分析检测技术以及专用仪器方面持续攻关；；此外，，电子特气出产用的容器、管道、阀门等也亟待自主钻研开发。。。